Clean room이라고 들어보셨나요. 이름 그대로 엄청 깨끗해서 먼지도 별로 없는 공간으로 반도체의 퀄리티를 결정하는 중요한 시설입니다. 먼지가 웨이퍼 위에 올라간다면 모든 공정에 문제가 생길 수 있습니다. Photolithography 과정에서 먼지가 빛을 막아 원치않는 패턴이 발생 할 수도 있고요. 제대로 deposition 이 이뤄지지 못할수도 있습니다. 먼지말고도 사람의 몸에서 나오는 단백질, 화장품에서 떨어지는 금속 또한 오염물의 일종입니다. 이러한 Clean room의 수준을 나타내는 지표로 Class N 이 있습니다. Class 1000 은 (1ft)³ 당 0.5um 이하의 먼지수가 1000개 미만 Class 100 은 (1ft)³ 당 0.5um 이하의 먼지수가 100개 미만 Class 1..