Band gap 이 커서 저항률이 높은 물질을 절연막 이라고 한다. 절연막에는 산화막, 질화막, 유기막이 존재한다. 이중에 산화막에 대해 설명하고자 한다. 물론 산화막이라고 다 절연막 인건 아니다. 다른 게시글에서 설명 하겠지만 ITO AZO 등 으로쓰이는 경우도 있다. 즉, 산화막이란 산화된 층을 의미 하지만 일반적으로는 산소 원소가 포함된 절연막을 지칭한다. 산화막은 주로 게이트산화막, Field Oxide, ILD, passivation 의 용도로 사용된다. 산화막의 종류와 두께 즉 Cox 와 Tox Un 등을 조절하여 각 위치의 Capacitance 를 조절할 수 있다. 예를들어 게이트 영역 같은경우 전류는 흐르면 안되지만 큰 cap을 가져서 전압을 잘 전달해야하고 Field Oxide의 경우 전..
