Lift off 공정 1. Lift off 공정이 필요한 이유 일반적으로 metal deposition 을 한다면 metal은 식각이 까다로워 일반적인 Photolithography 방식으로는 Patterning 이 쉽지않기에 미세패턴을 만들기도 어렵다. 이때 사용하는 공정이 Lift off 공정이다. Liftoff 공정을 위해서는 negative PR을 Patterning 하여야 한다. Negative PR을 Patterning 하기 위해서는 2가지 방법이 요구된다. Image reversal PR을 사용하는 방법과 LOR PR을 사용하는 방법이다. 1. Image reversal pr 을 사용한 방법 그림 2. LORPR을 사용한 그림 이렇게 negative pr 을 성공적으로 patterning 하..
